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主要代理品牌彙總

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CMP RETAINER RING

 

CMP吸附膜

CMP RETAINER RING 半导体生产用化学机械研磨法用保持环

爱锐精密科技大连有限公司加工销售半导体用高精密CMP RETAINER RING备件产品,可提供美国应用材料(AMAT),日本荏原(EBARA),SPEEDFAM, NOVELLUS,东京精密ACCRETEH等主要半导体设备商的及各小厂的6英寸,8英寸,12英寸的CMP RETAINER RING的反向设计及生产,精密高,产品质量稳定,世界各大厂商采用业绩非富。



産品介紹:

AMAT设备为代理的树脂与金属结合型CMP RETAINER RING结构
CMP RETAINER RING 结构图

主要構成:

?PPS樹脂部分采用以下三家廠商材料,

 與原廠保持一致,根據客戶需要提供材質。

 KUREHA(日本)

 QUADRANT TECHTRON(美国)

 ENSINGER(德國)

 其它材質PEEK樹脂,PET樹脂等也有使用,請 咨詢。

 

?金屬部分采用不鏽鋼材料,SUS304,

比原廠的SUS303更耐腐蝕。

EBARA设备为代表为全树脂型CMP RETAINER RING结构
EBARA CMP RETAINER RING结构

主要結構:

?全PPS樹脂結構,同樣采用以下三家廠商材料,

 與原廠保持一致。

 KUREHA(日本)

 QUADRANT TECHTRON(美国)

 ENSINGER(德國)

 其它材質PEEK樹脂,PET樹脂等也有使用,請 咨詢。

特殊钨制程用PEEK材质CMP RETAINER RING结构
特殊钨制程用CMP RETAINER RING

主要構成:

?樹脂部分采用PEEK+40%炭素材料,

 硬度與耐磨性較PPS要好,消耗亦減少。

 

?金屬部分采用不鏽鋼材料,SUS304,

比原廠的SUS303更耐腐蝕。

 

 

産品主要特點:

CMP RETAINER RING镜表检查 CMP RETAINER RING背面平面研磨

提供樹脂表面的鏡面抛光研磨:

此項服務可以讓最終用戶的DUMMY研磨時間降低,同時降低相關耗材的消耗,節約客戶成本,提供客戶生産效率。

上图为表面镜表研磨后采用特殊光学干涉检查装置,检查抛光后的树脂表面粗糙度照片,镜表粗糙度(Mirror Surface roughness, )控制在Ra 0.588~0.881 (?m)

提供背部的金屬或樹脂的平行度研磨:

産品的上下表面的平行度會影響被研磨晶圓的精准度及晶圓加工過程中的各部位的研磨率,爲保證被加工晶圓的精密度,出貨前做背部的平行研磨,車削産品件的精度平行度在50?m,背部平行研磨後的産品件的平行精度會隆到15?m,大大提高了被加工體的精密。

 

可以提供的相關規格

CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT设备用

PPS與不鏽鋼接合型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT设备用

全PPS樹脂無溝槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK材质

200MM AMAT设备用

PEEK+40%炭素材料

與不鏽鋼接合有溝槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK材质

200MM AMAT设备用

PEEK+40%炭素材料

與不鏽鋼接合無溝槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK

150MM 全PEEK+40%炭素材料

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK

200MM 全PEEK树脂

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET材质

200MM 全PET材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET

150MM 全PET材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET-ETX

200MM 全PET-ETX

材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PBT

200MM 全PBT材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

有溝槽系列

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

無溝槽系列

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

 

CMP RETAIENR RING NOVELLUS

150MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

CMP RETAINER RING EBARA

300MM EBERA G3

全樹脂系列附密封橡膠

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING EBARA

200MM EBARA

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER REING EBARA

200MM EBARA

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PETER WOLTER GUIDE RING 150MM PETER WOLTER GUIDE RING
CMP RETAINER RING AMAT300

300MM AMAT设备用

PPS與不鏽鋼接合型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING EBARA300MM

300MM EBARA G2

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAIANER RING EBARA 300MM

300MM EBARA G2S

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETANER RING EBARA 300

300MM EBARA PEEK+40%炭素

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING AMAT 300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM 可以加工的設備商名:

AMAT(MIRRA, REFREXTION),

EBARA,NOVELLUS,

ACCRETECH, SPEEDFAM,

PETER WOLTER

       

 

加工料號舉例(以下料號以外有大量生産實績)

300mm    C-3812-378-0001
300mm    C-3812-431-0001
200mm    C-3812-393-0001

AMAT 300mm PPS + SUS                                              0040-62020

  1. AMAT 300mm Full PPS                                                   0040-88203
  2. AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove)                     0040-33583
  3. AMAT 200mm PEEK+40%C                                           0040-51156

0040-94632

    • AMAT 200mm Titan Head N                                        0040-79583
    • AMAT 200mm Titan Head HE                                      0040-80952
    • AMAT 200mm AEP                                                          0040-77243
    • AMAT 200mm AEP2                                                        0040-78263

     

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